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metadata.dc.type: Dissertação
Title: Minimização da energia de deformação de filmes finos com substratos espessos
Other Titles: Minimizing the stroin energy of thin films on thick substrates
metadata.dc.creator: Nery, Fábio
metadata.dc.contributor.advisor1: Pureza, Júlio Miranda
metadata.dc.description.resumo: O objetivo deste trabalho é a obtenção de um modelo tridimensional, que descreva as tensões que surgem em filmes finos depositados em substratos espessos planos. Para isto é utilizado o método da minimização da energia de deformação da amostra (filme fino/substrato), já descrito e utilizado na literatura para uma descrição unidimensional do problema. A vantagem deste método é sua maior simplicidade em relação a uma abordagem tensorial do problema, uma vez que envolve uma grandeza escalar (energia de deformação) de identificação mais simples que as diversas componentes de um tensor de tensões. Após a apresentação do problema físico e da metodologia, é feita a aplicação a duas situações de interesse: para uma amostra submetida a valores de tensão menos elevados, adquirindo uma forma proximadamente esférica e para uma amostra submetida a valores mais elevados de tensão, adquirindo uma forma aproximadamente cilíndrica. Nestes dois casos se obteve uma fórmula que relaciona a linha de tensão do filme com a curvatura da amostra, que é então comparada com outras formulações.
Keywords: Equação de stoney
Filmes finos
Tensão
Stoney equation
Tension in thin films
metadata.dc.subject.cnpq: CNPQ::CIENCIAS EXATAS E DA TERRA::FISICA::AREAS CLASSICAS DE FENOMENOLOGIA E SUAS APLICACOES::OTICA
metadata.dc.language: por
metadata.dc.publisher.country: BR
Publisher: Universidade do Estado de Santa Catarina
metadata.dc.publisher.initials: UDESC
metadata.dc.publisher.department: Física
metadata.dc.publisher.program: Mestrado em Física
metadata.dc.rights: Acesso Aberto
URI: http://tede.udesc.br/handle/handle/1740
Issue Date: 31-Jul-2009
Appears in Collections:Mestrado em Física

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